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我国电子工业部高纯水水质试行标准
 
化学指标单位:μg/L


序号 水质项目 一级高纯水指标 二级高纯水指标
1 电阻率(25℃)MΩ·cm ≥15 ≥10
2 电导率,μs/cm 0.05 0.1
3 PH值 6.8~7.2 6.6~7.4
4 细菌总数,个/mL <3 <9
5 微粒(直径>0.5μm,粒/mL) <150 <300
6 二氧化硅 <10 <20
7 有机物(以COD计) <0.3 <0.5
8 钠 Na <0.5 <2

工业水处理设备
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